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Leading Trade Fair for Powder & Bulk Solids Processing and Analytics

29.9 - 1.10.2020 // Nürnberg, Germany

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Sputter Coater und Kohlebeschichter

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Sputter Coater und Kohlebeschichter

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Sputter Coater und Kohlebeschichter von Quorum Technologies

Wir stellen die neuste Gerätegeneration der Sputter Coater und Kohlebeschichter von Quorum Technologies vor – die Q-Plus Serie.
Gerade in der Elektronenmikroskopie sind Desktopbeschichter viel gefragt um nicht-leitfähige Proben mit dünnen Lagen aus Metall oder Kohle zu beschichten. Somit können zum Beispiel Aufladungen bei der Bildgebung in der Rasterelektronenmikroskopie (REM) vermieden werden.
Die Geräte von Quorum decken eine Vielzahl an Ansprüchen ab:

  • preisgünstige Geräte mit Vorvakuum für niedrige Vergrößerungen
  • Hochvakuumgeräte für feinere Schichten – auch aus oxidieren Metallen
  • Probenkammern von 150 mm Durchmesser für die Beschichtung von Wafern bis 4“
  • Probenkammern von 300 mm Durchmesser und Multitargetsysteme für sequenzielle Beschichtung von großen Proben mit zwei Materialien oder gleichmäßige Beschichtung von Wafern bis 8“
  • Probenbühnen aller Art: verkippbar, planetarisch, für Wafer, Schliffe, REM-Teller oder Objektträger
  • Reproduzierbarkeit durch Automatisierung und Schichtdickenmonitor


Neben der neuen, benutzerfreundlichen Software, die bis zu 1000 Rezepte und Logdateien speichern kann, sowie das Anlegen mehrerer Nutzer mit unterschiedlichen Rechten zulässt, und einer großen LED-Statusanzeige, kam mit der modernen Q-Plus Serie auch ein ganz neuer Sputter Coater auf den Markt – der Q150V Plus.
Der Q150V Plus ist ein Hochvakuumbeschichter für höchste Ansprüche. Er erreicht einen Kammerdruck von 1x10-6 mbar und weniger.. Somit lassen sich nicht nur viel feinkörnigere Schichten sputtern um höchstaufgelöste REM-Anwendungen bei >200.000-facher Vergrößerung zu realisieren, sondern auch ultrafeine, dünne Kohlefilme herstellen wie sie als Trägerfilm für die Kryotransmissionselektronenmikroskopie (KryoTEM) verwendet werden.
Machen Sie sich selbst ein Bild von den Möglichkeiten an unserem Q150V ES Plus Demogerät.

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